清华大学精密仪器系（Department of Precision Instrument, Tsinghua University）隶属清华大学机械工程学院，设有仪器科学与技术、光学工程两个全国重点学科，建有精密测试技术及仪器全国重点实验室、时空信息精密感知技术全国重点实验室和光盘系统及应用技术国家工程研究中心。
清华大学精密仪器系源于1932年成立的清华大学工学院机械工程学系，1952年调整为机械制造系，1960年更名为精密仪器及机械制造系，1971年改称精密仪器系。1984年更名为精密仪器与机械学系，2013年学科调整重组成立精密仪器系。 2023年重组精密测试技术及仪器全国重点实验室，新建时空信息精密感知技术全国重点实验室。
精密仪器系现有在校博士研究生391人、硕士研究生93人；中国工程院院士2人，在职教师83人，其中国家级高层次人才计划入选者19人次，国家级青年人才计划入选者18人次，建有教育部创新团队、国防科技创新团队、重点领域创新团队各1个。 开设国家级精品课程2门、北京市精品课程3门，4门课程入选首批国家级一流本科课程，拥有3个国家级科研平台、3个教育部重点实验室、1个北京市重点实验室及3个校企联合科研机构。
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