
《微纳传感器及其应用》是由朱勇、张海霞编著的学术著作,2010年7月由北京大学出版社出版,属于微机电系统(MEMS)技术领域专业教材 。该书系统阐述了微纳传感器技术的原理与应用,旨在为高校微电子专业教学及工程实践提供理论支持 。
全书分为八章,约32万字。首章概述MEMS技术的基础理论及制造工艺,随后六章分类解析机械、热、磁、光学、化学生物及声波微传感器的工作原理,末章通过手势识别电子钥匙、地磁导航设备等实例展示集成应用 。各章配有习题与参考文献,附录收录典型传感器产品参数及行业术语,兼顾教材属性与工具书功能 。书中内容覆盖传感器技术核心领域,注重理论分析与工程实践结合 。
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