高真空镀膜机是一种用于物理学、化学领域的工艺试验仪器。它具有有机材料热蒸发沉积和金属材料热蒸发沉积成膜功能，腔体内有八个源用来置放不同的材料，并且一次可以对四个样品进行蒸镀，同时配置两个电流源加热材料，实际蒸镀时真空可以达到10-7 torr 。其真空系统通常由机械泵、增压泵、油扩散泵等组成，真空腔体由不锈钢材料制作，尺寸多样 。部分型号配备全自动PLC控制系统和温控蒸发源，如部分系统可在13分钟内达到1×10-6 mbar的真空度，并提供50~800℃的低温温控蒸发源和300~1400℃的高温温控蒸发源 ，可用于微纳电子器件电极的制备等，部分型号的技术指标示例如下：真空度可达9×10-8 Pa，坩埚数4，基片最大尺寸4英寸 。
想要了解更多“高真空镀膜机”的信息，请点击：高真空镀膜机百科
